檢索結果：共4筆資料 檢索策略： "Shyankay Jou".ecommittee (精準) and year="101"
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本論文主要是探討在不同結構上成長奈微米鑽石之場發射特性之影響。本研究中係使用微波電漿化學氣相沉積系統將奈微米鑽石沉積於平面矽、金字塔及矽奈米線/金字塔結構，藉由場發射電子顯微鏡觀察鑽石的表面形態，並…
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In this work, hydrogenated microcrystalline silicon (μc-Si:H) films deposited through very high fr…
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三維多孔性生物可降解支架已被廣泛應用於組織工程的骨頭修復與再生，支架的主要功能為提供結構讓細胞附著及增生。本研究選用生醫高分子材料聚己內酯Poly-ε-caprolactone (PCL)、致孔劑為…
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在矽晶太陽電池中晶片表面鈍化及抗光反射為重要的關鍵技術。本研究以原子層沉積法沉積氧化鋁薄膜於矽晶片表面上作為鈍化之使用。首先以電漿輔助原子層沉積系統及熱原子層沉積系統製備氧化鋁薄膜，研究重點為探討氧…